用途：半導體材料在我國是一種新型工業(yè)，它的生產(chǎn)過程控制嚴格，要求很高的安全性。本公司開發(fā)的ETCH、CVD系列，一方面能滿足本國生產(chǎn)要求，同時可以提供安全出口之需要。
特點： ◆ 本裝置采用元件需經(jīng)過UL認證或國內(nèi)外相應(yīng)認證機構(gòu)的認證。
◆打開柜門、用手觸摸不到元件帶電部分，已有接線全部用聚碳酸板隔離絕緣。
◆需測量的點位、設(shè)有專用測量點。
◆各種配電柜和配電箱均有緊急停止按鈕（EMO）確保人身安全和設(shè)備保護。
型號規(guī)格：◆ 交流電源配電柜（AC RACK 2.0）
◆交流配電箱（AC Box）
◆系統(tǒng)控制柜（controller Box）
◆直流配電箱（DC Box）
技術(shù)參數(shù)：額定電壓：208V
額定頻率：50HZ
額定電流：400A
直流電源：DC V
