《固態(tài)電路雜志》近日發(fā)表了南京理工大學(xué)蘇巖團(tuán)隊(duì)關(guān)于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)的研究成果。該成果大大提高傳感器的穩(wěn)定性(精度)，其性能達(dá)到國(guó)際已知最高水平。

慣性傳感器是檢測(cè)和測(cè)量加速度、傾斜、沖擊、振動(dòng)、旋轉(zhuǎn)和多自由度(DoF)運(yùn)動(dòng)的傳感器。采用MEMS工藝制造的慣性傳感器通常只有幾毫米甚至更小;而專用集成電路(ASIC)則可以將成千上萬(wàn)的晶體管電路集成于一塊芯片，同樣具有尺寸小的特點(diǎn)。兩者都可大批量生產(chǎn)，成本極低。

因此，專用集成電路技術(shù)和MEMS技術(shù)將極大地降低慣性傳感器的成本、體積和功耗，使得該類型傳感器可廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子類產(chǎn)品中。此外采用高性能ASIC后，還可降低環(huán)境因素及寄生參數(shù)對(duì)傳感器性能的影響，大幅提升MEMS慣性傳感器的精度，使該類型傳感器可以在高精度導(dǎo)航制導(dǎo)領(lǐng)域得到應(yīng)用。諧振式MEMS加速度計(jì)則實(shí)現(xiàn)了機(jī)械敏感結(jié)構(gòu)與ASIC的對(duì)接，該傳感器實(shí)現(xiàn)了小于1微克的零偏不穩(wěn)定性，為已報(bào)道的最高性能。

該傳感器適用于船舶、潛艇等高精度導(dǎo)航系統(tǒng)中，也可應(yīng)用于無(wú)人機(jī)導(dǎo)航、可穿戴個(gè)人室內(nèi)導(dǎo)航設(shè)備以及汽車穩(wěn)定系統(tǒng)、安全氣囊、游戲手柄、智能手機(jī)中。