超純水設(shè)備是由多臺(tái)水處理設(shè)備按工藝設(shè)計(jì)組合而成。最典型的工藝為：預(yù)處理+雙級(jí)反滲透+EDI和雙級(jí)反滲透+混合床工藝。高純水設(shè)備廣泛用于半導(dǎo)體、電子、精細(xì)化工、電廠、醫(yī)藥等行業(yè)。水處理工藝主要由預(yù)處理、反滲透、EDI或混合床、后級(jí)精處理幾部分組成，根據(jù)不同水質(zhì)要求，采用不同工藝，終端產(chǎn)水電阻率可達(dá)到15~18MΩ.CM以上。典型工藝流程為：
預(yù)處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－粗混合床－精混合床－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－精密過濾器－用水對(duì)象 （≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)
預(yù)處理－反滲透－中間水箱－第二級(jí)反滲透-純水箱-純水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對(duì)象（≥18MΩ.CM）(最新工藝)
預(yù)處理－一級(jí)反滲透－加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級(jí)反滲透－純水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對(duì)象（≥17MΩ.CM）(最新工藝)
預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對(duì)象（≥15MΩ.CM）(最新工藝)
預(yù)處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－純水泵－粗混合床－精混合床－紫外線殺菌器－精密過濾器－用水對(duì)象 （≥15MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)
相關(guān)工藝水處理設(shè)備圖片：