根據(jù)尾氣的特性、成分、壓力等，選擇適當(dāng)?shù)墓に嚵鞒毯图夹g(shù)條件進(jìn)行尾氣處理，則可降低三廢排放，變廢為寶。把尾氣經(jīng)過壓縮后采用冷凝或變壓吸附法（即濕法處理，常規(guī)干法或新型干法技術(shù)處理）進(jìn)行吸附、分離、提純，尾氣則變成可回收的產(chǎn)品或可循環(huán)使用的原料。

   我公司生產(chǎn)制造多晶硅、三氯氫硅尾氣壓縮機(jī)，以及生產(chǎn)多晶硅、三氯氫硅需要的補(bǔ)充氫壓縮機(jī)、循環(huán)氫壓縮機(jī)、還原氫壓縮機(jī)、氮?dú)鈮嚎s機(jī)。多晶硅、三氯氫硅尾氣壓縮機(jī)采用填函前置氣頂氣、回收室一次氮封、D型隔離室二次氮封的安全密封結(jié)構(gòu)，確保介質(zhì)氣體不會外漏.